| ¹ý¿øÀÌ 23ÀÏ »ï¼ºÀüÀÚ ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷Àå(»ï¼º¹ÝµµÃ¼)¿¡ ±Ù¹«ÇÏ´ø Á÷¿øÀÌ À¯ÇØ ÈÇй°Áú°ú Àü¸® ¹æ»ç¼±¿¡ Àå±â°£ ³ëÃâµÈ °ÍÀÌ ¹éÇ÷º´ ¹ßº´ÀÇ ÇÑ ¿øÀÎÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù°í ÃßÁ¤ÇÑ ±Ù°Å¿¡ °ü½ÉÀÌ ½ò¸°´Ù. ÀçÆÇºÎ ÆÇ´ÜÀÇ °¡Àå Å« ÀÌÀ¯´Â ¼ûÁø ±Ù·ÎÀÚ°¡ °¢Á¾ ¹ß¾Ï¹°Áú¿¡ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ³ëÃâµÆÀ» °ÍÀ¸·Î º¸Àδٴ Á¡ÀÌ´Ù. ¼¿ïÇàÁ¤¹ý¿øÀº 2006³â°ú 2007³â ¼ûÁø ÀÌ¸ð¾¾¿Í È²¸ð¾¾ µî 2¸í¿¡°Ô ±Þ¼º °ñ¼ö¼º ¹éÇ÷º´ÀÌ ¹ßº´ÇÑ °ÍÀº »ï¼º¹ÝµµÃ¼ ±âÈï»ç¾÷Àå 3¶óÀο¡ ±Ù¹«ÇÑ °Í°ú Àΰú°ü°è°¡ ÀÖ´Ù°í ÀÎÁ¤Çß´Ù. À̾¾ µîÀº ÀÌ ¶óÀο¡¼ ½Ç¸®ÄÜ ¿øÆÇ(¿þÀÌÆÛ)À» ¹ÝµµÃ¼·Î ¸¸µå´Â °øÁ¤ Áß `È®»ê(Diffusion)'°ú `½À½Ä½Ä°¢(Wet Etching)' ¾÷¹« µîÀ» 1³â8°³¿ù~10³â°£ ´ã´çÇß´Ù. ¹ý¿øÀº À̵éÀÌ ±Ù¹«ÇÑ °÷°ú ȯ°æÀÌ À¯»çÇÑ ±âÈï»ç¾÷Àå 5¶óÀο¡¼ 2009³â ¼¿ï´ë »êÇÐÇù·Â´ÜÀÌ ÀÛ¾÷ȯ°æÀ» ÃøÁ¤ÇÑ °á°ú ¸ðµÎ 99°¡Áö ÈÇй°ÁúÀÌ »ç¿ëµÆ°í ÀÌ °¡¿îµ¥ È®»ê°øÁ¤¿¡ 13°¡Áö, ½À½Ä½Ä°¢ °øÁ¤ Áß ¼¼Ã´ÀÛ¾÷¿¡ 10°¡Áö ÈÇй°ÁúÀÌ »ç¿ëµÆÀ½À» ÀÎÁ¤Çß´Ù. ÀÌ Áß¿¡´Â ¾Æ¸£½Å, Ȳ»ê µî ±¹Á¦¾Ï¿¬±¸¼Ò°¡ ÁöÁ¤ÇÑ ¹ß¾Ï¼º ¹°Áú°ú ¹éÇ÷±¸ °¨¼ÒÁõÀ» ÀÏÀ¸Å°´Â Æ÷½ºÇÉÀÌ Æ÷ÇÔµÆÀ¸¸ç È®»ê °øÁ¤ÀÇ Àü ´Ü°èÀÎ °¨±¤°øÁ¤¿¡´Â ¹éÇ÷º´ À§ÇèÀÎÀÚÀÎ º¥Á¨µµ °ËÃâµÆ´Ù. ¹ý¿øÀº »ç¾÷Àå³» ¼³ºñ°¡ ¹ÐÆóµÅ ÀÖ¾î À̵é À¯ÇØ ÈÇй°ÁúÀÌ ¸ðµÎ ¹èÃâµÆ´Ù°í º¸±â ¾î·Æ°í ¿ÀÈ÷·Á ´Ù¸¥ °øÁ¤¿¡¼ ¹èÃâµÈ À¯ÇØ ÈÇй°Áú¿¡µµ ÀÛ¾÷ÀÚ°¡ ³ëÃâµÆÀ» ¼ö ÀÖ´Ù°í ÆÇ´ÜÇß´Ù. ¶Ç »ï¼º¹ÝµµÃ¼´Â 2006³â 6¿ù¿¡¾ß À¯±âÈÇÕ¹° °¨Áö½Ã½ºÅÛÀ» ±¸ÃàÇßÀ¸¸ç À̾¾ µîÀÌ ±Ù¹«ÇÒ ´ç½Ã ±âÈï»ç¾÷Àå 3¶óÀÎÀÇ ½Ã¼³ÀÌ °¡Àå ³ëÈĵŠÀÖ¾ú´ø °ÍÀ¸·Î º¸ÀÌ´Â Á¡À» °í·ÁÇϸé ÃÖ±Ù ÃøÁ¤Ä¡º¸´Ù ´õ ¸¹Àº À¯ÇØ ÈÇй°Áú¿¡ ³ëÃâµÆÀ» °ÍÀ¸·Î º¸Àδٴ °á·ÐÀ» ³»·È´Ù. ÇÔ²² ¼Ò¼ÛÀ» Á¦±âÇÑ 3¸í¿¡ ´ëÇØ¼´Â ±âÈï»ç¾÷ÀåÀÇ ´Ù¸¥ ¶óÀÎÀ̳ª ¿Â¾ç»ç¾÷Àå µî¿¡¼ Àý´Ü, µµ±Ý µî °øÁ¤¿¡ ±Ù¹«ÇßÀ¸³ª ÇØ´ç °øÁ¤¿¡¼´Â À¯ÇØ ÈÇй°ÁúÀÌ »ç¿ëµÇÁö ¾Ê¾Ò°Å³ª Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ³ëÃâµÆ´Ù°í º¸±â ¾î·Æ´Ù´Â ÀÌÀ¯¿¡¼ ±Ù¹«¿Í ¹éÇ÷º´ ¹ßº´ »çÀÌÀÇ Àΰú°ü°è°¡ ÀÎÁ¤µÇÁö ¾Ê¾Ò´Ù. ÇöÀç »ï¼º¹ÝµµÃ¼ µî »ï¼ºÀüÀÚ °è¿»ç¿¡ ±Ù¹«ÇÏ´Ù ¹éÇ÷º´ µî Èñ±ÍÁúº´¿¡ °É·È´Ù¸ç ±Ù·Îº¹Áö°ø´Ü¿¡ »êÀç½ÂÀÎ ½Åû µîÀ» ÇÑ »ç¶÷¸¸ 10¸íÀÌ ³Ñ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ® ÀÌ¿Í À¯»çÇÑ ¼Ò¼ÛÀÌ ÀÕµû¸¦ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù. |